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  • 全氟辛基三氯硅烷涂膠機,抗粘劑PFTS烘箱
    全氟辛基三氯硅烷涂膠機,抗粘劑PFTS烘箱主要用于納米壓印光刻(NIL)應用,防粘涂層的制備,可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠;以及功率半導體,LED,MEMS,半導體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
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    2025-09-16
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  • 冷熱沖擊測試機,冷熱循環氣流儀
    冷熱沖擊測試機,冷熱循環氣流儀在短的時間內(約10秒)檢測樣品因高低溫冷熱沖擊()-65℃~220℃)所引起的化學變化和物理傷害,減少測試與驗證時間,快速提高產品研發和生產效率。廣泛應用于通信、半導體、芯片、傳感器等領域。
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  • 快速熱處理退火爐,半導體RTP快速退火 爐
    快速熱處理退火爐,半導體RTP快速退火 爐可用于硅及其他化合物材料離子注入后的退火,硅化物形成,歐姆接觸制備以及快速氧化,快速氮化等方面。該設備具有很好的長時間工作穩定性以及快速升降溫,慢速升降溫功能
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  • 不銹鋼無塵烤箱,雙層無塵烘箱
    不銹鋼無塵烤箱,雙層無塵烘箱應用于目前關鍵的半導體電子行業(如硅片干燥,堅膜烘烤,裝片機后道烘烤,塑封后烘烤,治具烘烤等),另外,雙層無塵烘箱還在LED制造行業中用于烘烤玻璃基板、無機材料行業中用于材料高精度工序。
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  • 無氧烘箱,無氧化烘箱
    無氧烘箱,無氧化烘箱在半導體集成電路制造過程中,晶圓表面預處理、涂膠、曝光前后的烘焙即曝光后烘烤(Post Exposure Bake,PEB)、對準、顯影、顯影后烘焙等因素都會對光刻工藝效果帶來顯著影響
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